第631章 全村的希望

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　　苏远山突然觉得嘴皮有点干，沉默许久后，他抿着嘴唇，轻声道。

　　“我得承认，我这段时间确实对光刻机领域关注得少了一点。”

　　曲慧此时已经放下书，望着他，正色道：“你不止是少一点，光刻机是不能放弃的。”

　　“是。”苏远山点头，再次沉默几秒后望向郑振川：“郑叔，就算德远采购明年的Krf光刻机，能够让你们拥有竞争力吗？”

　　“或者说，你们宏芯真的到了必须得靠德远采购才能活下去的时候了？”

　　“不……当然不是。”郑振川马上摇头：“如果德远能够采购我们的光刻机，国内一帮人肯定会闭嘴的，更何况……我们还有双工件台呢。”

　　苏远山微微点头。

　　这个理由他认可。

　　从规模上，德远当然比不过intel，德仪，NEC这种老牌半导体企业，甚至连岛上的联电都比不过。

　　但从制程工艺和技术实力来看，德远的崛起确实带着浓浓的远芯印记，短短四年时间不到，就追上了制程领域的第一梯队，堪称半导体行业的奇迹。

　　而从德远上个季度公布的财报来看，德远也跻身进了十大晶圆厂。甚至因为并没有涉足目前正受冲击的DRAM领域，还一举超过了NEC和德仪，一举进入了前六。

　　如果能拿到德远的“认可”，显然对宏芯的光刻机是有正面宣传意义的。

　　沉默着，苏远山突然望向曲慧。

　　“曲慧姐，你们那边的定位精度在一年内能提到多少？有计划表没有？”

　　——工件台的精度与光刻机的制程工艺是两码事，一般来说，0.5微米制程，搭配纠偏系统的话，需要的套刻精度是0.1微米以下。

　　套刻，指的是，在依次曝光完硅晶片的所有field后，更换掩膜进行重复曝光，这两次曝光的过程中的掩膜，需要精确地套叠在一起，因此被称为套刻。

　　而众所周知，工件台是光刻机工作时所有工序的平台，因此套刻精度又受工件台定位精度的直接影响。

　　在引入误差后，双工件台的精度起码还得提升个10倍，达到0.05微米的精度以上，才能真正用在0.25微米的制程工艺上——这才是远芯需要的光刻机。

　　而后世的工件台，定位精度甚至能够达到2纳米以下！加上多重曝光，理论上甚至能实现2纳米的制程。

　　现在曲慧说定位精度在0.5微米，那意思就是首都精科那边只能算是造出了双工件台，要真正运用在光刻机上，还需要进行不断的调试。

　　苏远山对机械不甚了解，他只知道，如果零部件误差在允许范围内的话，那么精度的提升就只能依靠纠偏系统了。

　　纠偏系统，顾名思义，就是纠正偏移的系统。它的工作原理说简单也简单，就是搭配光栅传感器，把精度控制、调整在可以接受的范围内。但说复杂也复杂，因为它对运动控制模块的要求相当高。

　　曲慧合上书，回答道：“计划当然是有计划，我们接下来会一直继续优化纠偏系统和运动控制模块，但现在没办法告诉你准确的进度。”

　　苏远山慢慢点头，突然问道：“首都高科对双工件台的出口计划是什么？”

　　郑振川和曲慧一对视，两人同时沉默。

　　片刻后，郑振川轻声道：“小山，我们被国外掐脖子掐得够厉害了，我认为我们的双工件台不需要出口。”

　　曲慧同样点头：“我也认为。”

　　……

　　苏远山长长地叹了一口气。

　　直到现在，他才终于弄明白了这二人的真正来意。

　　曲慧的想法，大概是她更多从要之前被掐脖子掐得狠了，现在终于轮到自己领先，要“爽一把”的角度来考虑。

　　而郑振川，则是考虑到双工件台所带来的效率提升，必定会赋予宏芯光刻机强大的竞争力——说白了，就是郑振川把国产光刻机的未来押在了双工件台上。

　　但显然……首都精科那边的想法不一样。

　　毕竟这是产品，而不是技术。

　　是，产品是存在着被山寨的可能，但别忘了，有种东西叫防拆自毁装置——这还是西方搞出来的。

　　

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